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本申请公开了一种检测方法。检测方法用于检测工件的位置偏差，工件形成有第一标记及第二标记，检测方法包括：利用成像装置对准第一标记的目标物理位置，采集包括第一标记的图像为第一图像；驱动成像装置与工件中的至少一个运动，以使成像装置对准第二标记的目标物理位置；利用成像装置采集包括第二标记的图像为第二图像；及依据第一图像与第二图像检测工件的位置偏差。本申请还公开了一种检测设备。无论工件的第一标记与第二标记如何分布，都能够通过成像装置采集图像，然后检测工件的位置偏差，使得运用检测方法的检测设备能够适用多种元
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113376180 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110644261.7
(22)申请日 2021.06.09
(71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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