检测方法及检测设备.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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检测方法及检测设备.pdf

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本申请公开了一种检测方法。检测方法用于检测工件的位置偏差，工件形成有第一标记及第二标记，检测方法包括：判断第一标记的第一目标位置与第二标记的第二目标位置，是否在沿第一方向延伸的同一直线上，第一方向与工件的运动方向相同；若否，利用第一相机采集第一标记的第一图像，及利用第二相机采集第二标记的第二图像；若是，驱动工件和第一相机沿第一方向发生相对运动，利用第一相机采集第一标记的第一图像及第二标记的第二图像；及依据第一图像及第二图像检测工件的位置偏差。本申请还公开了一种检测设备。所有类型的工件都可以通过第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113376181 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110644264.0 (22)申请日 2021.06.09 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司