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本发明涉及高纯氢气提纯技术领域,具体涉及一种Pd复合膜的制备方法,通过多孔基体预处理‑多孔基体表面修饰‑Pd金属复合膜制备,形成Pd复合膜,利用热处理和两次化学镀工艺,避免了复合膜在随后氢气渗透过程中产生针孔缺陷,得到了薄且致密的Pd复合膜,复合膜制备工艺简单,可以实现大规模工业应用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113368701 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110663563.9
(22)申请日 2021.06.16
(71)申请人 曾祥燕
地址 34
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