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一种用于航空发动机的多模态力学传感器及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-21 发布于四川
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一种用于航空发动机的多模态力学传感器及制备方法.pdf

    本发明提供一种用于航空发动机的多模态力学传感器及制备方法，所述传感器包括至少一个正向压力测量单元和至少一个剪切力测量单元，二者的数量相同；所述传感器具有柔性安装面；所述传感器从下至上依次包括下电极层、第一键合层、压电层、第二键合层和上电极层；所述下电极层同时作为所述柔性安装面，所述第一键合层用于将所述压电层的底部键合在所述下电极层上，所述第二键合层用于将所述压电层的顶部键合在所述上电极层上，所述压电层用作压力敏感元件，所述上电极层用于输出至少一个正向压力信号和至少一个剪切力信号。本发明集正向压力

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114112405 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111391593.5 (22)申请日 2021.11.23 (71)申请人 上海交通大学 地址

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