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一种动态离子探针超低真空装置及实现方法.pdfVIP

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  • 2023-06-21 发布于四川
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一种动态离子探针超低真空装置及实现方法.pdf

    本发明公开了一种动态离子探针超低真空装置及实现方法，它包括动态离子探针主体单元、真空设备单元、控制单元、液氮制冷单元。其中动态离子探针主体单元包括快速装样真空腔、中间级加载真空腔、样品分析真空腔。其中快速装样真空腔、中间级加载真空腔设有筒状冷阱装置，样品分析真空腔设有环状冷阱装置。本发明的优点为能够提升并自适应保持动态离子探针真空性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114235938 A (43)申请公布日 2022.03.25 (21)申请号 202111467679.1 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人 中国科学院地质与地球物理研究所

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