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2023-06-21 发布于四川
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本发明提供一种宽量程柔性电阻式压力传感器及制备方法，传感器为多层结构，从下至上依次为下封装层、柔性基底层、第一导电电极、复合海绵层、第二导电电极、上封装层，第二导电电极内测通过氦等离子辐照刻蚀得到纳米绒毛结构，复合海绵层为海绵材料通过溶液浸渍法与导电材料进行复合得到，复合海绵层内部具有片层结构导电材料；本发明通过电极纳米绒毛结构与孔洞结构充分接触提升压力测试灵敏度，并将海绵柔性骨架与导电材料相结合，充分利用了海绵的形变以及导电材料自身的形变，在不同压力范围内实现压力敏感机理切换，扩大了压力检测范

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113340484 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110554370.X B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 20

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