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- 2023-06-21 发布于四川
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本发明提供一种晶圆防护罩的制备方法，所述制备方法包括：将铝坯料铣削成环状，并进行预车削处理；在200～250℃下进行热处理去除内部应力；进行精密车削处理以及钻孔处理；在所述晶圆防护罩侧壁底部钻孔得到侧孔和/或腰型槽；对所述晶圆防护罩进行抛光处理；清洗后对所述晶圆防护罩外壁进行喷砂处理以及熔射处理。所述制备方法制备得到的晶圆防护罩可以有效吸附靶材掉落的多余薄膜，保护晶圆，同时所述制备方法可以满足精密环件制作中对材料的内部组织结构以及产品表面粗糙度的要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113369986 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 202110729744.7 审查员 王军
(22)申请日 2021.06.29
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