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一种兰姆波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-21 发布于四川
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一种兰姆波谐振器及其制备方法.pdf

    本申请公开了一种兰姆波谐振器及其制备方法，其中，兰姆波谐振器包括：衬底结构，其表面形成有空气腔室；兰姆波谐振结构，其包括压电振动结构，位于压电振动结构上表面的叉指电极，及位于压电振动结构下表面的底部平板电极；所述兰姆波谐振结构悬置于所述衬底结构的空气腔室内，且所述兰姆波谐振结构通过其纵向两端的支撑轴与所述衬底结构固定连接；在各支撑轴与衬底结构连接的锚点处对应的衬底结构上分别设置有金属板。本申请提供的兰姆波谐振器，其通过将兰姆波谐振结构悬置于衬底结构的空气腔室中，并在二者连接的锚点处对应的衬底结构

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113381723 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110733402.2 (22)申请日 2021.06.29 (71)申请人 南通大学 地址 22

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