- 1、本文档共49页,其中可免费阅读48页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
半导体器件包括:第一互连结构;多个沟道层,堆叠在第一互连结构上方;栅极堆叠件,包裹除了沟道层的最底部一个沟道层之外的沟道层的每个;源极/漏极部件,邻接沟道层;第一导电通孔,将第一互连结构连接至源极/漏极部件的底部;以及介电部件,位于沟道层的最底部一个沟道层和第一导电通孔之间。本申请的实施例还涉及形成半导体器件的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113345894 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110518907.7
(22)申请日 2021.05.12
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 一种红枣加工去核设备.pdf
- 通信设备、系统及其方法.pdf
- 一种全方位杀菌自动清洁的紫外线净水仪.pdf
- 基于氧弹式量热仪的热值快速测量方法及系统.pdf
- 地板清洁器.pdf
- 一种配合淋浴花洒使用的儿童臀部清洗装置.pdf
- 一种用于波纹管加工可自动上下料的成型机.pdf
- 一种实验室用RTO催化燃烧设备.pdf
- 一种战略通讯海光缆及敷设方法.pdf
- 一种轨道车辆用照明灯支架及轨道车辆.pdf
- 高考地理 考前30天冲刺押题系列 1.4 人口、城市、交通(版).doc
- 高考历史 5高考真题精选与最新模拟 专题05 古代希腊、罗马的文明.doc
- 高考历史 5高考真题精选与最新模拟 专题03 中国传统文化的主流思想的演变.doc
- 高考历史 5高考真题精选与最新模拟 专题01 中国古代的政治制度.doc
- 高考地理 5高考真题精选与最新模拟 专题08 人口.doc
- 高考化学 考前30天冲刺押题系列 第三部分 专题10 化学计算方法与技巧.doc
- 高考地理 母题精解精析 专题18 环境保护(版).doc
- 高考化学 考前30天冲刺押题系列 第三部分 专题05 十字交叉法.doc
- 高考地理 考前30天冲刺押题系列 1.6 国土整治与区域可持续发展、地理信息技术的应用(版).doc
- 高考化学 考前30天冲刺押题系列 第二部分 专题19 无机推断.doc
文档评论(0)