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一种支撑平台热膨胀的控制设备和方法.pdfVIP

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  • 2023-06-21 发布于四川
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一种支撑平台热膨胀的控制设备和方法.pdf

    本发明涉及一种支撑平台热膨胀的控制设备，包括：微动台，安装在支撑平台上方，且微动台上安装有被支撑物；位移测量装置，包括参考位移支架，参考位移支架具有支撑部以及与支撑部成90°夹角的延伸部，支撑部平行于支撑平台的高度方向，延伸部平行并高于微动台的上表面，且延伸部上安装有位移传感器，位移传感器设置为感测微动台的上表面与位移传感器之间的距离；控制器，包括电压输入模块和电压输出模块，电压输入模块与位移传感器的信号输出端相连，电压输出模块与微动台的信号输入端相连。本发明还提供一种支撑平台热膨胀的控制方法，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113375542 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110697646.X (22)申请日 2021.06.23 (71)申请人 中国科学院上海高等研究院

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