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一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置.pdfVIP

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  • 2023-06-21 发布于四川
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一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置.pdf

    本发明涉及HMDS处理设备技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，包括：HMDS罐；密封保护罩；氮气上料机构；还包括：机架；排风机构，安装在机架上，排风机构的抽气端设置在密封保护罩内部；吸收机构，设置在排风机构上；自动回收机构，设置在机架上，自动回收机构的抽气端与密封保护罩内侧顶端密封连接；控制器，设置在密封保护罩外侧壁上；泄露检测传感器，设置在密封保护罩内侧，泄露检测传感器与控制器电连接；密封保护罩外侧壁上安装有警报器，警报器与泄露检测传感器和控制器均电连接，本发明所示设

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113376977 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110718670.7 (22)申请日 2021.06.28 (71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司

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