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本发明公开了一种抑制能量泄露和寄生的高Q值薄膜体声波谐振器，在衬底上刻蚀有空腔，空腔上覆盖有下电极；衬底上位于下电极周围沉积下部声反射层，且下部声反射层与下电极接触；下部声反射层以及下电极上沉积压电层，压电层上沉积上电极和上部声反射层；上部声反射层位于上电极周围，并与上电极接触；压电层中刻蚀出到下电极上表面的通孔一，压电层和下电极中刻蚀出到牺牲层上表面的通孔二；通孔一中以及压电层上远离上电极的方向上沉积接触电极；接触电极与下电极相连。本发明的下部声反射层有效减小纵向声波和横向声波的耦合，减少谐振
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113381722 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110682234.9
(22)申请日 2021.06.20
(71)申请人 深圳市封神微电子有限公司
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