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2023-06-21 发布于四川
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一种电容式湿度传感器及其制作方法.pdf

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本发明公开了一种电容式湿度传感器及其制作方法，具体涉及湿度传感器技术领域，所述的电容式湿度传感器采用下至上依次设置的衬底、绝缘层、底部电极层、湿敏材料层和上电极层，所述底部电极层的端部边缘处刻蚀出底电极焊盘，所述上电极层的端部边缘处刻蚀出上电极焊盘，所述湿敏材料层采用蛇形排布结构。本发明采用湿敏材料蛇形凸起结构设计，加大外界空气与湿敏材料的接触面积，提高湿敏材料吸湿和脱湿的速度，从而提高湿度传感器的灵敏度、降低响应时间及降低回滞特性，进而满足更高精度的测试要。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113340950 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110592227.X (22)申请日 2021.05.28 (71)申请人苏州锐光科技有限公司

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