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本发明提供一种高产能的晶粒接合装置，包含：供应取放模块用以将供应模块上至少一晶粒运送至转承台；旋转模块包括具有复数粘晶取放单元的复数粘晶取放模块，粘晶取放单元以一中心为圆心呈放射状分布且与中心的距离相等，粘晶取放单元以中心为圆心旋转运动，相邻二粘晶取放模块间以中心为圆心具有一第一夹角，每一粘晶取放模块的相邻二粘晶取放单元间以中心为圆心具有一第二夹角，第一夹角与第二夹角相同或不相同；沾胶模块供一粘晶取放模块的复数晶粒同时沾胶；由定位视觉撷取模块对已沾胶的复数晶粒同时定位。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113363177 A
(43)申请公布日
2021.09.07
(21)申请号 20201
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