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本实用新型涉及一种高纯低羟基石英玻璃给料装置，旨在解决当前等离子化学气相沉积法(PCVD)生产石英玻璃技术存在的因鼓泡瓶蒸发导致的供料不稳的技术问题，包括沉积炉、基础杆、靶面、灯具、排废口、四氯化硅接入管、供料柜、四氯化硅排出管、氧气预热管及给料器；本实用新型针对上述给料不稳和管口易堵塞缺点，四氯化硅蒸发不用鼓泡瓶，而采用四氯化硅全蒸发方式，使气态四氯化硅与气态氧气混合，最后供应到有伴热和保温的给料器，经外壁管端口设有一定角度的给料器通入沉积炉内，从而避免二氧化硅积累影响料线，可保证长时间运行。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219217830 U
(45)授权公告日 2023.06.20
(21)申请号 202320194497.X
(22)申请日 2023.02.13
(73)专利权人 内蒙古金沙布地恒通光电科技有
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