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- 2023-06-21 发布于四川
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本发明公开了一种利于小型化和扩大带宽的SAW谐振器结构及SAW滤波器，该SAW谐振器结构由下至上依次为衬底、温补层、压电薄膜层、换能器叉指电极，其中，衬底采用Si制成，温补层采用SiO2制成，压电薄膜层采用15°LiNbO3制成。采用本发明的SAW谐振器结构能获得较大的机电耦合系数和较低声速的声波模式，使得本发明的SAW谐振器结构兼顾具备了利于小型化设计和扩大带宽的优势，能够降低SAW谐振器的体积和制造成本，同时也能够更好的满足移动通讯对大带宽、小型化设计的SAW滤波器的要求；此外，本发明SAW
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113381725 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110736815.6
(22)申请日 2021.06.30
(71)申请人 中国
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