法拉第笼刻蚀法大批量制备倾角补偿AFM探针的方法.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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法拉第笼刻蚀法大批量制备倾角补偿AFM探针的方法.pdf

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本发明针对现有普通AFM探针在测量时存在的固有缺陷，提供了一种法拉第笼刻蚀法大批量制备倾角补偿AFM探针的方法，该技术方案利用法拉第笼在等离子体环境中形成等电位，引导等离子体以垂直于法拉第笼表面的方向进入法拉第笼的特性，进而以Cr2O3为硬掩膜，进行倾斜刻蚀，从而得到倾角补偿AFM针尖；同时利用电子束曝光，UV曝光及Bosch工艺，得到探针悬臂梁及探针基底。本发明能够以耗时短且成本低的工艺实现在整片SOI片上大批量生产倾角补偿探针，并改良AFM探针，提高AFM探针测量的精准度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113371677 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110589264.5 (22)申请日 2021.05.28 (71)申请人杭州探真纳米科技有限公司

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