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一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构.pdfVIP

一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构.pdf

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    本发明涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，包括开关机构、固定机构、连接机构，所述开关机构的内部包括伸缩杆、伸缩杆的表面活动连接有转杆，转杆的另一端活动连接有接电块，接电块远离转杆的一侧面活动连接有接电板，接电板的表面固定连接有连杆，连杆远离接电板的一端固定连接有斜板，通过将芯片放置在子载盘的表面，丝杆转动，带动活塞板沿着负压仓的内壁移动，使得负压仓内部产生负压，再配合抽气口的连接作用，芯片吸附在子载盘的表面，子载盘转动，导热片向导热槽的表面移动，带

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113355655 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110601283.5 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人 深圳市君康源智能科技有限公司

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