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本发明提供一种膜片、MEMS麦克风芯片及其制作方法，其中，所述振膜本体上设置有至少两个均匀分布的泄气阀，所述泄气阀包括活动部和孔隙；所述孔隙具有阶梯状截面，且所述阶梯状截面的“阶梯数”为一个或多个。本发明公开的技术方案，通过设置孔隙截面为阶梯状的泄气阀，不仅可以在受到剧烈冲击时打开，起到快速释放压力的作用，还可非打开状态时，增加孔隙对空气的阻尼，从而改善MEMS麦克风芯片的低频响应；此外，由于采用阶梯状结构，低频响应对孔隙尺寸偏差的敏感度降低，因此可降低工艺精度要求，提高产品的成品率和一致性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113347540 B
(45)授权公告日 2022.01.07
(21)申请号 202110893662.6 H04R 31/00 (2006.01)
(22)申请日
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