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    一种提供关于样品的区域的信息的方法、系统及计算机可读取介质。方法包括(i)通过成像仪获得区域的多个图像；其中多个图像通过至少一个参数而彼此不同；(ii)接收或产生多个参考图像；(iii)产生代表多个图像和多个参考图像之间的差异的多个差异图像；(iv)计算一组区域像素属性；(v)基于多个区域像素的多组区域像素属性，计算一组噪声属性；以及(vi)基于像素的该组噪声属性和该组区域像素属性之间的关系，对每一个区域像素确定区域像素是否代表缺陷。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113348484 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202080009755.1 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公

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    知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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