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能够高精度地得到高输出的本发明的一个方式所涉及的压力传感器具有形成在硅基板的膜和电阻值与隔膜的变形相应地变化的多个压电元件区域。在该压力传感器中，多个压电元件区域具有第1压电元件区域、第2压电元件区域、第3压电元件区域以及第4压电元件区域。隔膜具有成为受到给定的压力而挠曲时的最大应力值的80％以上的最大挠曲区域。第1压电元件区域、第2压电元件区域、第3压电元件区域以及第4压电元件区域配置在隔膜的最大挠曲区域内。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113348348 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202080010784.X (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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