微元件巨量转移装置及其方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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微元件巨量转移装置及其方法.pdf

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本发明属于半导体显示制造技术领域，其提供了一种微元件巨量转移装置及其方法，所述微元件巨量转移装置包括：第一传输装置、转移组件和第二传输装置；转移组件包括转移箱，转移箱包括微元件入口和微元件出口；转移组件还包括设置在转移箱内部的多条用于承载和传递微元件的传递组件，传递组件包括轨道和驱动轨道运转的驱动机构；第二传输装置用于将从转移箱的轨道上传输过来的微元件投放至对应的基板上。通过采用本发明实施例的微元件巨量转移装置高效地实现了Micro‑LED微元件的巨量转移，达到了提高Micro‑LED生成效率和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410157 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202010183836.5 (22)申请日 2020.03.16 (71)申请人重庆康佳光电技术研究院有限公司