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- 2023-06-22 发布于四川
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本发明一种用于石英谐振式露点传感器的双闭环露点跟踪控制方法，利用半导体制冷器对石英晶片进行主动控温，随着温度降低到露点温度的时候，石英晶片表面会产生水分凝结，谐振电路的输出信号从最初的正弦信号变为直流偏置信号，为了准确地捕捉到信号的突变，设计了信号调理电路将间歇式正弦信号转变为方波信号送入温度控制器，设计整流滤波电路将间歇式正弦信号转换为直流信号，直流信号通过模数转换器获得振幅数字量送入温度控制器；利用逻辑电平与振幅作为温度控制器的反馈信号，温度控制器根据反馈信号来输出脉冲宽度调制信号去控制开关
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113391660 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202110648011.0 (56)对比文件
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