嵌套式扫描探针显微镜.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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嵌套式扫描探针显微镜.pdf

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本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜，包括壳体，还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头；步进马达安装于壳体内壁，绝缘管周向设置于步进马达内壁上；绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件，绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合；扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端，测试端包括用于扫描样品的探针；步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果，且具有抗干扰、高度对称性特点，能够减少温度变化引起的热漂移

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113406360 B (45)授权公告日 2022.03.08 (21)申请号 202110737437.3 (56)对比文件