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本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板，盖板沿其径向由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；第一区域设置有与盖板同圆心设置的第一蒸发口部；第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的连线不重合；第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的第三蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113403585 A
(43)申请公布日
2021.09.17
(21)申请号 20201
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