氮化钛膜制备方法和装置.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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氮化钛膜制备方法和装置.pdf

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本发明公开了一种氮化钛膜制备方法，通过原子层沉积法在硅片上沉积氮化钛膜，采用多次循环形成所述氮化钛膜，所述多次循环包括以下步骤：S1，在腔体内放入硅片，通过第一气体管路通入钛原料气体，使其与所述硅片的硅衬底发生化学吸附，直至所述硅衬底表面达到饱和；S2，通入惰性气体进行吹扫，将过剩的反应物从系统中抽出清除；S3，通入氢离子到所述腔体内，与所述硅衬底中残留的氯反应形成氯化氢气体；S4，通入惰性气体进行吹扫，将过剩的反应物从系统中抽出清除；S5，通过第二气体管路通入氮化气体，使之和所述衬底上被吸附的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388825 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110568361.6 (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司