气体激光器电极及气体激光器.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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气体激光器电极及气体激光器.pdf

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本申请涉及激光技术领域，公开了一种气体激光器电极和使用该电极的气体激光器。其中，气体激光器电极包括相对设置的阳极和阴极；阳极和/或阴极的表面设置有放电表面和设置于放电表面一侧或两侧的冲击波抑制表面，冲击波抑制表面上设置有多个凹槽，凹槽用以使冲击波发生散射。本申请的气体激光器电极，在其非放电区域，具有能够打散冲击波和防止冲击波反射的表面结构，使得电极在能够进行稳定辉光放电的基础上，有效的抑制电极间的反射冲击波，减小其对放电和出光性能的影响。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394648 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 20201