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一种溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法,本发明涉及一种制备五氧化二钒薄膜的方法。本发明解决现有真空蒸镀法与溅射法制备的V2O5薄膜存在氧空位较多、工艺稳定性差、沉积速率低,含有低价态的钒氧化物的问题;溶胶‑凝胶法制备V2O5薄膜时需要高温熔融V2O5粉末,陈化时间长,制备周期长,薄膜通常粗糙多孔,质量不高的问题。方法:一、制备V2O5溶胶;二、沉积成膜。本发明用于溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113401942 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 202110721604.5 (56)对比文件
(22)申请日 2021.06.28
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