一种镜片双舱真空镀膜工艺.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种镜片双舱真空镀膜工艺.pdf

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本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺，当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运；当主舱与辅舱之间的阀门关闭时，在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内放真空、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜，通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜，减小生产周期，真空下插板阀门、主舱平

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113416934 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110715201.X (22)申请日 2021.06.26 (71)申请人丹阳市鼎新机械设备有限公司