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在本发明的检查方法中，基板及边缘环分别载置于等离子体处理装置的基板支承器的第1区域及第2区域上。第1检查电路与基板连接。第1检查电路具有阻抗。第2检查电路与边缘环连接。第2检查电路具有阻抗。具有相同的频率的第1电偏置及第2电偏置被施加到第1区域内的第1电极及第2区域内的第2电极。通过波形监视器获取基板的电压波形及边缘环的电压波形。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113410115 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110235492.2
(22)申请日 2021.03.03
(30)优先权数据
2020-0466
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