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本发明涉及阳极化装置,能够在基板表面形成膜质不同的多个多孔质层。实施方式的阳极化装置包括:第1处理槽(101),能够进行基板的阳极化处理;第2处理槽(103),设置在第1处理槽的内侧,能够进行基板的阳极化处理;第1电解液供给单元(12),能够向第1处理槽供给第1电解液;第2电解液供给单元(11),能够向第2处理槽供给第2电解液;保持部(108),能够保持基板;第1电极(104),设置在第1处理槽或第2处理槽的上方;以及第2电极(107),设置在第1处理槽及第2处理槽的下方。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113430614 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202010883024.1
(22)申请日 2020.08.28
(30)优先权数据
2020-0513
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