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本发明不会加大景深而能够降低粗糙面的测量误差。光学测量装置包括：光源，输出多个波长的光；第一狭缝构件，形成有使来自光源的光的一部分通过的第一开口；光学系统，用于使通过了第一开口的光沿光轴产生色差；物镜，将产生了色差的光照射至测量对象物；第二狭缝构件，形成有使照射至测量对象物的光的反射光的一部分通过的第二开口；受光用光纤，对通过了第二开口的光进行传播；以及受光传感器，获取经传播的光，对所述光的光谱进行测量，第一开口及第二开口分别具有包含多个针孔的形状。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390334 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110147297.4
(22)申请日 2021.02.03
(30)优先权数据
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