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光干涉测量装置.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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光干涉测量装置.pdf

    提供一种多通道的光干涉测量装置，其不会导致装置大型化且低成本。由第1测量头接收的第1返回光经由第1光路和光纤耦合器被引导到检测器，由第2测量头接收的第2返回光经由第2光路和光纤耦合器被引导到检测器。从光纤耦合器到第1测量头的末端的光路长度D1、从光纤耦合器到第2测量头的末端的光路长度D2、第1测量头的测量范围的最大光路长度R1max、与第1返回光干涉的第1参照光的光路长度S1、与第2返回光干涉的第2参照光的光路长度S2被设定为满足D1+R1max‑S1

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113390444 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110180753.5 (22)申请日 2021.02.08 (30)优先权数据 2020-0427

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