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本发明提供一种磁悬浮轴承轴向位移检测装置、方法、系统及其控制系统，所述装置包括：磁悬浮转子、第一检测面、第二检测面、第一位移传感器和第二位移传感器；所述第一检测面和第二检测面分别独立安装于所述磁悬浮转子上；所述第一位移传感器用于检测所述第一检测面的位移，以作为第一轴向位移；所述第二位移传感器用于检测所述第二检测面的位移，以作为第二轴向位移；所述第一检测面与所述第二检测面在同一平面上；所述第一位移传感器与所述第二位移传感器的探头的位置保持在同一竖直线。本发明提供的方案能够稳定获取轴向位移信号，并能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113432565 B
(45)授权公告日 2022.03.15
(21)申请号 202110843925.2 审查员 李蓓
(22)申请日 2021.07.26
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