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一种多晶YAG陶瓷化学机械抛光液.pdfVIP

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  • 2023-06-23 发布于四川
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一种多晶YAG陶瓷化学机械抛光液.pdf

    一种多晶YAG陶瓷化学机械抛光液，属于精密/超精密加工技术领域。多晶YAG陶瓷化学机械抛光液的pH为7，包含溶质和溶剂两部分：溶剂为去离子水。按抛光液总质量分数100％计，其各组分和质量百分比含量如下：10～30wt％硅溶胶，1～5wt％的氧化铝磨粒，0.1～0.5wt％磨粒分散剂，适量的pH调节剂，各物质在去离子水中通过超声混合均匀。采用该抛光液可实现对多晶YAG陶瓷的超光滑抛光，抛光后的多晶YAG晶体表面晶界高差明显减小，能够获得超光滑、无损伤的多晶YAG晶体表面；可有效抑制晶界高差，达到表

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113480942 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202110898990.5 审查员 秦圆圆 (22)申请日 2021.08.06

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