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本发明提供能够抑制装置的大型化并且提高臭氧气体在腔室的内部的扩散性的灭菌方法。对收容于腔室(11)的灭菌对象物进行灭菌的方法包括：臭氧准备工序(S504)，使臭氧气体填充于缓冲箱(34)的内部；以及臭氧注入工序(S505)，向腔室(11)的内部注入填充于缓冲箱(34)的内部的臭氧气体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113440635 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110207403.3
(22)申请日 2021.02.23
(30)优先权数据
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