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本发明公开了一种基于多层氧化物薄膜结构的折射率传感器，所述的传感器从下到上包括棱镜、第一层氧化物薄膜、第二层氧化物薄膜和第三层氧化物薄膜。本发明所述的传感器由氧化物薄膜构成，具有结构简单，性能稳定，加工制备过程容易，成本低等优点。本发明所述的传感器具有很高的灵敏度，强度灵敏度可以达到5.69×103/RIU，相位灵敏度可达到3.29×1060/RIU。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113447459 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110708501.5
(22)申请日 2021.06.23
(71)申请人 青岛科技大学
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