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一种纳米孔光谱传感系统及光谱仪.pdf

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    本发明涉及一种纳米孔光谱传感系统及光谱仪。所述纳米孔光谱传感系统，包括：基底、薄膜、面阵探测器和纳米孔单元；所述面阵探测器的上表面设置所述基底，所述基底的上表面设置所述薄膜，所述薄膜上开设有多个纳米孔单元；每个所述纳米孔单元均包括多个纳米孔，所述纳米孔单元内的纳米孔的孔径相等，一个所述纳米孔单元内的纳米孔对应一个设定谐振波长值。本发明通过在基底上表面的薄膜上设置纳米孔提升了器件表面机械性能，纳米孔单元和基底共同组成分光系统，并与面阵探测器集成缩小光谱传感系统的体积，进而减小光谱仪的体积，实现光谱

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113447122 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 20201

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