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一种具有横向绝缘栅极双极性晶体管的功率元件及其制造方法。该功率元件形成于一半导体基板上，包含：多个横向绝缘栅极双极性晶体管彼此并联；以及顺向导通单元，与多个横向绝缘栅极双极性晶体管并联，顺向导通单元由PN二极管与肖特基二极管并联形成；其中PN二极管与肖特基二极管共享外延层中的N型区、反向端、N型延伸区、场氧化区、栅极以及P型区；其中N型区与P型区形成PN结，由俯视图视之，PN结具有交错的梳齿交界面；其中金属导线于交错的梳齿交界面正上方延伸，交错接触下方的N型区与P型区。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451296 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202010503635.9
(22)申请日 2020.06.05
(30)优先权数据
62/993,75
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