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2023-06-23 发布于四川
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本发明提供一种研磨剂组合物，其中，在氧化物单晶材料基板的研磨中，能够抑制研磨时的载体鸣音，并且实现研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一种研磨剂组合物，其用于对钽酸锂单晶材料或铌酸锂单晶材料进行研磨加工，上述研磨剂组合物含有二氧化硅颗粒、水溶性高分子化合物和水，二氧化硅颗粒包含：平均粒径为10～60nm的小粒径二氧化硅颗粒以及平均粒径为70～200nm的大粒径二氧化硅颗粒，小粒径二氧化硅颗粒的质量相对于小粒径二氧化硅颗粒和大粒径二氧化硅颗粒的总计质量的比例为50～95质量％，水溶性高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113444455 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110303581.6 (22)申请日 2021.03.22 (30)优先权数据 2020-0536

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