用于光刻胶喷嘴的封堵接头.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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用于光刻胶喷嘴的封堵接头.pdf

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本发明公开了一种用于光刻胶喷嘴的封堵接头，包括封堵座和设置于封堵座上并用于封堵喷嘴口部的封堵机构；所述封堵座上设置有用于安装喷嘴的第一沉孔，所述封堵机构包括安装座、堵头、第一弹性件和盖板，所述安装座设置于封堵座上，所述第一沉孔的底部开设有与堵头密封配合的通孔，所述堵头安装于通孔内，所述安装座上开设有用于安装弹性件并与通孔连通的第二沉孔，所述盖板固定设置于第二沉孔内，所述弹性件设置于堵头与盖板之间；其中，在对喷嘴封堵时，所述第一沉孔与喷嘴相配合，并通过所述弹性件将堵头抵紧于喷嘴的端面，从而对喷嘴口

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113457894 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202110596139.7 (56)对比文件 (22)申请日 2021.05.30