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一种晶圆盒.pdfVIP

一种晶圆盒.pdf

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    本发明涉及微型发光二极管技术领域，具体涉及一种晶圆盒，所述晶圆盒包括晶圆盒主体；所述晶圆盒主体开设有腔体，所述腔体内设置有多个支撑脚；所述晶圆盒主体开设有气冷风道；所述晶圆盒主体设置有进气口，所述腔体内开设有出气口，所述进气口和所述出气口均与所述气冷风道连通，以对所述支撑脚上放置的晶圆进行冷却。本发明中的晶圆盒，通过在晶圆盒中接入冷气，并将晶圆盒主体中的晶圆放置在支撑脚上，使得该晶圆能均匀散热，其能加速晶圆的降温，从而有效地提升晶圆的转移效率，进而也能有效地避免工伤意外的情况发生。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113451183 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202010495690.8 (51)Int.Cl .

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