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本申请公开绝缘栅双极型晶体管及其制备方法,其中,绝缘栅双极型晶体管的制备方法包括:提供一衬底单晶;在所述衬底单晶两侧分别形成扩散层,所述扩散层由杂质原子经退火扩散入所述衬底单晶形成,所述衬底单晶与所述扩散层的掺杂类型相同;在一侧所述扩散层形成体区,所述体区与所述扩散层的掺杂类型相反;在所述体区形成发射极区,所述体区位于所述扩散层和所述发射极区之间,所述发射极区与所述扩散层掺杂类型相同。通过采用退火扩散的方法将杂质原子扩散入单晶衬底形成扩散层,扩散层的原子掺杂浓度单调降低、且变化缓慢,扩散层与体区
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451399 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110613105.4 H01L 21/331 (2006.01)
(22)申请日
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