一种改性氧化亚硅及其制备方法和用途.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种改性氧化亚硅及其制备方法和用途.pdf

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本发明涉及一种改性氧化亚硅的制备方法，包括如下步骤：（1）提供硅原料，并对所述硅原料进行表面氧化，获得表面具有硅氧化层的改性硅；（2）将待掺杂元素的原料与所述改性硅混合，并进行预反应，得到前驱体；（3）将所述前驱体置于真空环境中，升温进行掺杂反应，得到改性氧化亚硅。在本申请提供的制备方法中，掺杂元素与所述硅氧化层反应后，与内部硅原料接触面积更大，提高了高温真空的反应速率，进而使得改性氧化亚硅中掺杂元素分布更加均匀。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113526516 B (45)授权公告日 2021.12.03 (21)申请号 202111083342.0 (51)Int.Cl.