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本发明公开了一种消除白光干涉仪测量信号抖动的装置及方法，方法包括步骤：白光干涉仪发出的宽谱光分成两路分别进入测量臂和参考臂；参考臂中的参考光与测量臂中的信号光发生拍频干涉，产生第一拍频信号；窄线宽高相干光分为两路，一路经过所述参考臂，另一路与所述参考臂输出的窄线宽高相干光发生拍频干涉，产生第二拍频信号；将经处理后的第二拍频信号作为外部时钟触发信号，采集经处理后的第一拍频信号；对采集数据进行处理，转化为待测事件点的功率‑位置曲线。本发明可以消除白光干涉仪测量信号因光学延迟线的固有特性所产生的信号抖
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113503901 B
(45)授权公告日 2022.05.10
(21)申请号 202111049061.3 (56)对比文件
(22)申请日 2021.09.08
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