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本发明公开了一种压力无级可调的大流量压电泵，压电泵包括上端盖、下端盖、射流腔压电组件、半主动单向阀和位于上端盖上的出口管；所述射流腔压电组件由上至下包括顺次相连的带孔压电振子、泵腔垫圈和双作用压电振子，所述带孔压电振子和双作用压电振子做同步反向振动，所述半主动单向阀包括一个十字悬臂梁弹簧件和一个半主动单向阀挡片。本发明将一个初始阀口面积可调的半主动式单向阀加入到基于双振子结构的合成射流压电泵中，不仅提高了泵的压力，还最大程度了保留的射流泵大流量的特性，同时也实现了泵的压力可调。在微流控系统和微小
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113464410 B
(45)授权公告日 2022.03.22
(21)申请号 202110952540.X F04B 39/10 (2006.01)
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