使用臭氧气体和氢自由基的工件加工.pdfVIP

使用臭氧气体和氢自由基的工件加工.pdf

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提供了一种用于加工工件的方法。该工件可包括钌层和铜层。在一个示例实施方式中，用于加工工件的方法可以包括将工件支撑在工件支撑件上。该方法可以包括在该工件上对该钌层的至少一部分进行臭氧蚀刻工艺。该方法还可包括在工件上进行氢自由基处理工艺，以去除该铜层上的氧化物层的至少一部分。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113471070 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 202110555481.2 (74)专利代理机构北京易光知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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