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- 2023-06-23 发布于四川
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本发明属于太阳能电池技术领域，提供一种异质结太阳能电池的制备方法，包括：形成衬底器件以及在衬底器件的表面形成栅线，形成栅线包括如下步骤：在衬底器件的表面形成图形化的掩膜层，掩膜层中具有若干开口，开口用于定义栅线的位置；掩膜层包括依次层叠设置的第一子掩膜层至第N子掩膜层，N为大于等于2的整数，其中，第k+1子掩膜层的曝光精度大于第k子掩膜层的曝光精度；以掩膜层为掩膜，采用蒸镀工艺在开口中形成栅线；形成栅线之后，去除掩膜层。本发明通过掩膜以及蒸镀工艺制备栅线，将栅线的图案限定于掩膜层的开口中，避免栅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113488549 B
(45)授权公告日 2023.02.24
(21)申请号 202110767661.7 (51)Int.Cl.
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