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本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备:多个低温泵(10);以及控制器(20),针对各个低温泵,根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24),以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持,接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为,根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113446191 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202110281890.8 (51)Int.Cl.
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