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一种分子量窄分布且高透光性PHS树脂及其合成方法与应用.pdfVIP

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  • 2023-06-24 发布于四川
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一种分子量窄分布且高透光性PHS树脂及其合成方法与应用.pdf

    本发明公开一种分子量窄分布且高透光性PHS树脂及其合成方法与应用及其合成方法与应用。本发明提供的PHS树脂，包含式(I)所示的结构通式；本发明还提供PHS树脂的合成方法，其是以单体A、单体B、单体C和单体D为原料通过阴离子共聚得到的。本发明还提供一种光刻胶，其包括成膜树脂；所述成膜树脂包括所述PHS树脂。本发明所述的PHS树脂兼具分子量窄分布、透光性优异、碱溶性好且热稳定性高的优点，有效解决现有光刻胶的灵敏度相对较低、残膜率较高的问题，满足了集成电路行业发展的需求。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116284517 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211092344.0 C08F 220/18 (2006.01)

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